1 简介

真空泵(beng)是一种旋转式变容真空泵(beng)须有(you)前级泵(beng)配(pei)合方可使用(yong)在(zai)较宽(kuan)的(de)压力(li)范(fan)围内有(you)较大的(de)抽(chou)速对被(bei)抽(chou)除气体中含有(you)灰尘(chen)和水蒸汽不(bu)敏感(gan)广(guang)泛用(yong)于冶(ye)金、化工、食品(pin)、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转(zhuan)子具(ju)有(you)良好的几何对称性，故振动(dong)(dong)小，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子间(jian)及转(zhuan)子和(he)壳体间(jian)均(jun)有(you)间(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动(dong)(dong)功(gong)率，从而可实现较高转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内无需用油密封和润滑，可减(jian)少(shao)油蒸气对真空系统的(de)污染；

(4)泵腔内无(wu)压(ya)缩，无(wu)排(pai)气阀(fa)。结(jie)构(gou)简(jian)单、紧凑(cou)，对被抽(chou)气体中(zhong)的(de)灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏感；

(5)压缩比较(jiao)低，对氢气(qi)抽气(qi)效果(guo)差(cha)；

(6)转子表面(mian)为(wei)形状较为(wei)复杂的曲(qu)线柱面(mian)，加(jia)工和检查比(bi)较困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布置结构决定了泵(beng)的总体结构。

立式结构的(de)进、排气口水(shui)平设(she)置，装配和连接管路(lu)都比较方便。但泵的(de)重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种(zhong)型式多(duo)用于小(xiao)泵。

卧式泵的进(jin)气(qi)口(kou)在(zai)上，排(pai)气(qi)口(kou)在(zai)下(xia)。有时为了(le)真空系统(tong)管道安装(zhuang)连接方(fang)便，可(ke)将排(pai)气(qi)口(kou)从水平方(fang)向接出，即进(jin)、排(pai)气(qi)方(fang)向是相(xiang)互垂直(zhi)的。此时，排(pai)气(qi)口(kou)可(ke)以从左或右两个方(fang)向开口(kou)，除接排(pai)气(qi)管道一端(duan)外，另(ling)一端(duan)堵死或接旁通阀(fa)。这种泵结构(gou)重心低，高速(su)运(yun)转时稳定性好(hao)。一般大、中型泵多采用此种结构(gou)。

泵(beng)的两个转子轴(zhou)与水平(ping)面(mian)垂直安装(zhuang)。这种结(jie)构装(zhuang)配间隙容易控制，转子装(zhuang)配方便，泵(beng)占(zhan)地面(mian)积小。但泵(beng)重心(xin)较高且齿轮拆装(zhuang)不便，润滑机构也相对复杂。

（2） 泵的(de)传动方(fang)式

真空泵的(de)(de)两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)是通(tong)过(guo)一对高精度齿轮来实现(xian)其(qi)(qi)相对同步运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)通(tong)过(guo)联轴(zhou)(zhou)器与电(dian)(dian)机(ji)联接。在传(chuan)动(dong)(dong)(dong)结(jie)构布置上(shang)主(zhu)要有以下两种(zhong)：其(qi)(qi)一是电(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)与齿轮放在转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)同一侧(ce)如(ru)图。从动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)由电(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)端齿轮直接传(chuan)过(guo)去带(dai)动(dong)(dong)(dong)，这样主(zhu)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)扭(niu)(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形小(xiao)，则两个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)间隙不(bu)会因主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)扭(niu)(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变形大而改(gai)变，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)间隙在运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均匀。这种(zhong)传(chuan)动(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)最大缺点是：a.主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)上(shang)有三(san)个轴(zhou)(zhou)承，增加了泵的(de)(de)加工和装配难(nan)度，齿轮的(de)(de)拆装及(ji)调(diao)整(zheng)也不(bu)便；b.整(zheng)体结(jie)构不(bu)匀称，泵的(de)(de)重心偏向(xiang)电(dian)(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)和齿轮箱(xiang)一侧(ce)。

    极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)一个(ge)(ge)重要参数，是反应泵抽气(qi)能力的(de)(de)特性值，是与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)一个(ge)(ge)数值，不同的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵可以有不同的(de)(de)“极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而(er)“理(li)论真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是理(li)论研(yan)究时(shi)(shi)的(de)(de)一个(ge)(ge)概念(nian)，是排除(chu)各种(zhong)实际因素的(de)(de)影响而(er)提炼(lian)出的(de)(de)一种(zhong)最(zui)理(li)想(xiang)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器经充分抽气(qi)后(hou)，稳定(ding)在某一真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为(wei)极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器须经12小时(shi)(shi)炼(lian)气(qi)，再经12小时(shi)(shi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最(zui)后(hou)一个(ge)(ge)小时(shi)(shi)每隔10分钟(zhong)测量一次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)平均值为(wei)极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值。